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      使用旋片式真空泵過程中應注意的問題

        對旋片式真空泵應提出以下幾點作用要求:
        1、使用油封式機械泵時,如果真空室和泵之間沒有冷阱,則不能用機械泵直接抽真空至13Pa以下,因為在壓強低于13Pa時,油燕氣分子將返流到真空室造成污染。
        2、在啟動機械泵之前,要檢查泵油的狀態,看是否被污染,泵油的油位是否符合要求。
        3、泵啟動之前,前級壓力應在允許壓強范圍之內,若是該泵具有過載保護裝置,則可以啟動得稍早一些。
        3、在啟動之前要檢查確定前級壓力在允許壓力范圍內。
        5、如果旋片式真空泵接人系統以后,真空度抽不上去,則先檢查泵所在的系統的翻氣率是否大于允許值,同時檢查泵的電爐工作是否正常、泵的冷卻是否正常,若已經排除真空容器密封、閥門工作都正常,則有可能是泵本身的問題,需要和泵的生產廠家進行交流,可能存在著泵油變質、泵冷卻不好、泵油不足或泵過熱等問題。
        6、在通大氣之前,要檢查泵油的溫度,若是溫度過高,則會把泵油氧化。
        7、真空系統不工作時,除了機械泵通大氣以外,真空系統的其他部件盡量在真空條件下封存。
        8、在旋片式真空泵開啟或停止工作的時候,應該先關閉油泵入口的閥門,防止泵油返流到真空室當中去。
      2022/03/03 08:52:30 54 次

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